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该文系统地研究了基于压电原理的、与硅集成电路工艺兼容的铁电薄膜微电子机械系统(MEMS)的原理、设计工艺和特性.
基于硅集成化工艺的铁电薄膜微机械基础研究
【摘 要】
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该文系统地研究了基于压电原理的、与硅集成电路工艺兼容的铁电薄膜微电子机械系统(MEMS)的原理、设计工艺和特性.
【机 构】
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西安交通大学
【出 处】
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西安交通大学
【发表日期】
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1999年期
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