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来源 :兰州大学 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
在该论文实验工作中,研究人员采用射频磁控溅射法,以两种方式成功地制备了Fe-Al-N纳米晶薄膜:一种方式是在溅射过程中固定基板架,使溅射所得薄膜即为结晶态;另一 种方式是在
【作 者】
:
郑代顺
【机 构】
:
兰州大学
【出 处】
:
兰州大学
【发表日期】
:
2000年期
【关键词】
:
Fe-Al-N薄膜
射频磁控溅射法
Fe-Al-N纳米晶薄膜
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