光学薄膜是激光系统的关键元件，研究光学薄膜的激光破坏机制，对激光系统是非常重要的。本文从激光与光学薄膜的相互作用出发，通过大量的激光薄膜损伤实验，深入剖析了不同输出特性激光作用下光学薄膜的损伤机理。具体来说主要分为以下几个方面：围绕光学薄膜的激光损伤研究，建立了符合国际标准的激光损伤测试装置。对光学薄膜激光损伤的基本过程和损伤机制进行了论述，并对学薄膜激光损伤的一些实验规律进行了归纳总结；系统介绍了光学薄膜激光损伤的研究方法和测试规范。 在脉冲激光热力耦合损伤机制的基础上完善了多层膜的温度场理论。发展了光学薄膜温度场理论设计的概念和方法，并把吸收性缺陷的个体作用引入到光学薄膜的热力耦合损伤过程，研究了光学薄膜缺陷破坏的线性和非线性过程。根据缺陷的性质和缺陷在膜层中的分布状况，分别从“点”和“面”两方面对热力耦合损伤的热过程进行了全面分析，从而使热力耦合损伤机制趋于完善。 研究了多脉冲激光损伤的累积效应，探讨了多脉冲激光对光学薄膜的损伤规律。深入分析了多脉冲激光作用下，缺陷形成和发展的非线性累积过程。针对多脉冲激光损伤的力学过程，提出了多脉冲激光破坏的应力疲劳损伤机制，对多脉冲激光作用下热应力产生和发展的累积过程进行了研究。 建立并完善了自由振荡激光损伤测试系统。利用该系统研究了自由振荡激光对不同光学薄膜的损伤特性，剖析了自由振荡激光的损伤机制。通过与单脉冲激光破坏过程和破坏形貌的对比分析，对两类激光不同的破坏规律进行了合理的解释，并综合比较了以上几种激光输出特性的破坏机制的异同。