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近年来薄膜光伏电池发展迅速,黄铜矿类的薄膜材料由于其合适的能带宽度和高的吸收系数成为发展最快的一类。其中,最具代表性的材料是铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳能电池。然而,目前CIGS太阳能电池的最高转换效率离它的理论效率还有相当大的差距。本文先后采用溅射硒化法和四元靶材共溅射法制备CIGS薄膜,并通过调节硒化温度、退火温度、Na的掺杂量获得不同薄膜样品,以从多角度探讨制备参数对薄膜结构和性能的影响。利用X射线衍射(XRD)、拉曼光谱(Raman)、扫描电镜(SEM)、高分辨透射电子显微镜(HR-TEM)