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【摘 要】
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以C4F8和CH4为源气体，在微波电子回旋共振等离子化学气相沉积(ECR-CVD)系统中，制备了氟化非晶碳薄膜(a-C：F)，并对其在N2中进行了退火处理。用椭圆偏振仪对退火前后的膜厚及折射率
【机 构】
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西安电子科技大学
【出 处】
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西安电子科技大学
【发表日期】
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2006年期
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