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基于MEMS工艺加工制作的压阻式微加速度计是微惯性测量系统的关键组成部分,具有体积小、重量轻、一致性好,结构、敏感原理和检测电路简单等突出优点。为了提高微惯性测量系统的测量精度,需要研究压阻式微加速度计的误差来源和误差产生机理。本文分析了压阻式微加速度计16个误差源的误差产生机理,并建立了包括工艺、环境温度和环境振动等的12个单项误差模型。为了验证单项误差模型,本文设计、加工了多个不同量程的三轴压阻式微加速度计,最后利用单项实验估算了微加速度计的单项误差,并通过冲击实验得到了压阻式