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该文研究了高精度图像测量系统中提高边缘定位精度的亚象元细分方法.该文紧紧围绕着离线对准系统对准重复性精度σ≤0.1μm这一技术指标的实现,在分析实际掩模-硅片图像信号和标记边缘特性的基础上,比较了国内外多种亚象元细分方法的优缺点,提出了一种工程实用型一维亚象元细分算法-自适应加权氦事细分算法(AWF算法), 对算法的理论基础作了详细分析.