微细电火花加工是一种微细特种加工工艺方法,在微机械以及微细结构加工领域具有举足轻重的地位。由于RC微能电源简单可靠,在微细电火花加工中得到了大量的应用。为了深入对微细电火花加工机理的认识,进一步提高微细电火花加工能力和效率,本文进行了相关的数值模拟和试验研究,在理论研究上和工程应用上取得了一些结论。本文主要研究内容如下:1.针对RC微能电源,建立了极间电场物理模型,采用数值模拟方法,探讨了电极形状、工作极性等对电场分布的影响,掌握了相关的电场分布规律。2.根据传热学理论,建立了微细电火花加工工件表面的热物理模型,采用数值模拟方法,考虑热物性参数、对流换热、相变潜热等随温度变化的影响因素,掌握了工件表面温度场分布,得出了微细电火花加工极间温度场的分布规律。3.在上述研究基础上,采用微细电解方法在线制作柱状钨电极,合理选择工艺参数,进行了微细电火花加工试验,并分析了电参数对加工尺度和效率的影响,获得了三组应用于不同加工场合下优化的电参数。