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离子注入因其能量、剂量可控等多方面优势，在合成纳米复合材料方面有着广泛的应用。而纳米颗粒的性能与形状、尺寸、组分及分布等密切相关，因此如何对离子注入形成的纳米颗粒进行调控，从而实现对材料性能的优化，是离子注入诱导纳米颗粒合成研究的热点。双离子注入是调控纳米颗粒的一种重要手段，通过对组分和结构的调控可以在一定程度上优化纳米颗粒的性质。本论文围绕Cu，Zn离子联合注入SiO2基体中纳米颗粒的合成及后续不同气氛下退火热稳定性展开了相应研究。其主要内容及结果如下：(1)采用能量为45keV，剂量为1