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基于AFM电场诱导氧化机理的研究已发展了近十年,但在实验和理论方面仍有不完善之处.该课题在理论上,研究了加工参数和环境参数对电场诱导氧化结果的影响,进一步深化了对电场诱导氧化机理的认识,提出对加工结果有利的加工环境;实际应用上,采用不同环境条件,摸索出一套优化纳米结构加工的环境参数和加工参数,为下一步加工纳米电子器件奠定基础.