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高纯石英粉广泛应用于光学玻璃、光伏等电子工业，需求量越来越大。发展高纯石英产品质量检测技术，建立相应的质量检测标准，是我国高纯石英粉制造技术及应用的基础，也是开发新型高纯石英粉制造技术和高纯石英产品的重要保障。 本文结合石英粉提纯工艺开发，对高纯石英粉中杂质分析方法进行了较为系统的研究，主要内容和结论包括以下几个方面: (1)用扫描电镜观察了进口UNIMIN石英粉和国产石英粉表面形貌，发现UNIMIN石英粉表面光滑，裂纹较少，有均匀分布的微孔，表面有少量杂质;国产石英粉表面平整度略差，表面也有微孔分布，但是微孔数量较少，且分布不均匀，同样有少量杂质。 (2)对样品预处理方法进行了研究，确定了较为合适的处理条件:HF加入量为15ml，高氯酸加入量为1ml，硝酸加入次数为3次，消解时间为5h，蒸发温度为50摄氏度，定量方法选择称重法。 (3)分别采用ICP-AES、ICP-MS测定了美国UNIMIN高纯石英粉中杂质含量，对比该公司发布的标准值，发现除Na、Fe、Ca元素有偏差外，其余元素测定结果较接近标准值。同时，分别采用ICP-AES、ICP-MS和AAS测定了国产石英粉中杂质含量，对比测定结果发现三者结果相差不明显，Na、K、Mg、 Cu、Zn、Pb、Cr等元素测定结果基本一致。但是，由于ICP-MS仪器和检测费用昂贵，AAS只能单个元素逐一测定，分析速度较慢，而ICP-AES即能多种元素同时测定，又兼具分析速度快的优点，综合考虑，本文认为选用ICP-AES是合适的国产高纯石英粉检测方法。 (4)研究了高温HCl处理工艺，用ICP-AES对所得样品进行分析，结果表明，随着温度升高、时间延长，提纯效果变好，当温度为1200摄氏度、处理时间为90min时，除杂效果最好。但是，通过ICP-AES测定，可以看出，高温HCl法尚存在较大的改进空间。 (5)对用于高纯石英粉提纯的高纯水进行了工艺设计，给出了预处理工艺、RO和EDI的基本工艺参数和设备选型。