【摘 要】
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微泵是微流动系统的核心部分，是MEMS的重要微型器件，有着巨大的市场前景和发展潜力，被广泛地应用于各个科学领域。但是目前对微泵在动态特性方面的研究存在片面性的问题，还缺乏一定优化评价规则，本文对微泵进行动态特性分析及优化评价规则研究可以为高质量微泵设计提供保障。针对微泵的研究现状，采用有限元分析方法，对微泵的动态特性进行分析和研究，建立有限元分析流程和模型，并采用ANSYS软件对参数化动态特性分析
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微泵是微流动系统的核心部分，是MEMS的重要微型器件，有着巨大的市场前景和发展潜力，被广泛地应用于各个科学领域。但是目前对微泵在动态特性方面的研究存在片面性的问题，还缺乏一定优化评价规则，本文对微泵进行动态特性分析及优化评价规则研究可以为高质量微泵设计提供保障。针对微泵的研究现状，采用有限元分析方法，对微泵的动态特性进行分析和研究，建立有限元分析流程和模型，并采用ANSYS软件对参数化动态特性分析程序进行开发；采用粗糙集（Rough Sets）理论对微泵动态特性分析的相关数据进行
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