SnO₂作为一种广谱型的气敏材料，在60年代就成为了研究和应用的热点，并且发展的速度非常快。它在太阳能电池以及电极，锂离子电池，液晶显示等领域都有出色的表现。SnO₂是目前最常见的气敏材料之一，它对工作温度要求低，选择性好，灵敏度高，被广泛应用于检测各种敏感气体器件中。本课题是在大量的学习和实验中完成的。首先讨论了SnO₂的工作原理，设计出传感器的结构，包括硅杯的制备和电极制备等。然后选择两种方法制备SnO₂敏感膜，一种是溶胶凝胶法制备，另一种是以嗜热链球菌为模板法制备。对两种方法获得的敏感膜进行了表征，如原子力显微镜（AFM）、X射线衍射（XRD）、透射电子显微镜（TEM）等。选择不同的退火温度，得出结晶度好的薄膜。最后对传感器进行了测试和分析，分别对两种方法制备的薄膜进行了详细讨论，包括灵敏度、选择性、重复性以及响应和恢复时间等参数，并且将得到的数据进行对比分析。