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来源 :哈尔滨工业大学 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
微驱动技术作为当今最为活跃的纳米关键技术之一,在众多微纳领域有着越来越广泛的应用,如微纳操作,微外科手术,扫描探针显微镜SPM,原子力显微镜AFM,光纤对接,微细加工,半导体
【作 者】
:
钟博文
【机 构】
:
哈尔滨工业大学
【出 处】
:
哈尔滨工业大学
【发表日期】
:
2012年期
【关键词】
:
压电陶瓷
跨尺度精密运动平台
粘滑驱动
机电系统模型
精密定位
动力学方程
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