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随着激光技术的发展,各种新型激光器(如超强、超快激光)不断涌现出来,对光学薄膜元件提出了更高要求。光学薄膜是高功率激光系统中的重要元件,也是所有元件中最薄弱的环节,激光对光学薄膜的破坏一直是限制激光向高功率、高能量方向发展的“瓶颈”之一。而近年来溶胶-凝胶工艺制备的ZrO2化学膜以其优异的光学和抗激光损伤的性能引起了广大科研工作者的关注。因此,不断改进薄膜性能,提高薄膜的抗激光强度,发展新的薄膜技术,具有重要的科学意义和工程应用前景。本文分别采用溶胶-凝胶技术和电子束热蒸发技术在K9基片