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随着计算机、触摸屏、太阳能电池、液晶显示等领域的不断发展,一种新的半导体材料—透明导电薄膜应运而生。在太阳能电池中,作为电极的透明导电膜对提高电池的光电转换效率具有极大的意义。与氧化铟锡薄膜相比,铝掺杂氧化锌薄膜具有原料无毒、来源广泛、在氢等离子体中更加稳定等优势,运用溶液法来制备薄膜,成本低廉、操作简单且环境友好,极具研究价值。基于上面介绍的背景,本文采用化学浴沉积的方法制备铝掺杂氧化锌透明导电薄膜。通过在衬底上制备一层种子层,然后在一定的温度下水浴处理的方式来获得结构致密的氧化锌薄膜。研究发现,