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【摘 要】
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随着MOSFET技术进入纳米尺寸范围内,预计1-2年内25nm尺寸晶体管将上市。由于双栅(DG)MOSFET具有高速度、低功耗等优点,使得它成为纳米尺寸下的主流器件。对于缩小到纳米尺寸
【机 构】
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北京大学
【出 处】
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北京大学
【发表日期】
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2012年期
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