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上海光源作为我国先进的第三代同步辐射装置，于2009年完成一期建设，目前共有七条光束线投入运行。在后续规划中还要建设更多光束线，预计总数将达到60余条。晶体单色器作为同步辐射光束线中非常重要的分光元件，广泛应用于上海光源中。晶体单色器的冷却结构包括直接水冷却结构和间接液氮冷却结构，根据光束线功率密度不同采用不同的冷却结构。研究直接冷却结构晶体单色器硅分光晶体的加工方法和工艺,尝试采用一种新型冷却结构，分析在加工过程中对其分光性能产生的影响，为后续直接冷却结构晶体单色器的设计与加工给出理论指导。