【摘 要】
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PZT系铁电薄膜在微电子和光电子技术中有着十分重要的应用，在该领域的应用与开发主要取决于铁电薄膜的质量和薄膜微图形化技术的提高，因而在此方向的研究有着十分重要的意义。 本文详细总结了PZT感光性铁电薄膜的制备方法及其微图形处理技术，研究了溶胶-凝胶法制备PZT感光性铁电薄膜的工艺过程，通过溶胶凝胶工艺的化学改性，对光敏性薄膜进行了微图形加工，并对相应的溶胶-凝胶反应机理及光敏性机理进行了研究
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PZT系铁电薄膜在微电子和光电子技术中有着十分重要的应用，在该领域的应用与开发主要取决于铁电薄膜的质量和薄膜微图形化技术的提高，因而在此方向的研究有着十分重要的意义。 本文详细总结了PZT感光性铁电薄膜的制备方法及其微图形处理技术，研究了溶胶-凝胶法制备PZT感光性铁电薄膜的工艺过程，通过溶胶凝胶工艺的化学改性，对光敏性薄膜进行了微图形加工，并对相应的溶胶-凝胶反应机理及光敏性机理进行了研究，所得结论如下： 1．以硝酸氧锆、钛酸丁酯、醋酸铅为原
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