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脉冲功率技术在航空航天、国防军工、电力装备以及生物医药等领域的应用愈发广泛,而且随着应用需求的不断提升,对于脉冲功率系统也提出了更高的要求。作为脉冲功率系统中重要组成部分的开关设备,其性能的优劣将直接影响系统的输出参数。常用的气体开关可通过调整开关内部气体种类和气压等来满足众多需求,而且在较高功率和能量的脉冲功率系统中,多级气体开关的使用已十分成熟,充有氮气和六氟化硫混合气体的多级气体开关工作电压达到了MV级。但由于六氟化硫为温室效应气体,且在一定浓度下对人体有窒息作用,因此为保证开关的安全运营,针