SPM针尖制备技术研究及应用

被引量 : 1次 | 上传用户：waich19870625

【摘要】

：

随着纳米科技的发展,扫描探针显微镜(Scanning Probe Microscopy)技术因其直接反应样品表面形貌、粘弹性、摩擦力、吸附力和电磁场分布等信息的优势已经成为纳米测量强有力的手段。探针作为SPM的核心部件,直接影响着样品成像质量及研究成果,批量制备重复率高、大长-径比的纳米级探针仍是国内外学者研究的热点,大长-径探针使SPM测量出深沟槽以及近似铅垂侧面样品的真实形貌成为可能,因此课题

【作者】

：

汪雅丽

【机构】

：

浙江理工大学

【发表日期】

：

2017年12期

【关键词】

：

扫描探针显微镜电化学腐蚀钨探针音叉式AFM测头 STM原子图像

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