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【摘 要】
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随着现代电子设备信息处理量的扩大,通信载波频率必须向更高频的频率区移动,声表面波(SAW)滤波器是现代无线移动通信系统的关键部件之一,其工作频率f是由材料的声表面波传播速度V和叉指电极的周期L决定的,即了=V/L:由于所采用的材料及加工工艺的限制,目前的声表面波器件,其工作频率很难达到GHz。金刚石具有非常高的声表面波传播速度,以它们为衬底在现有的工艺条件下很容易制作出GHz的薄膜型SAW滤波器,
【机 构】
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天津理工大学
【发表日期】
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2005年01期
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