【摘 要】
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物联网的发展迫切需要集成化、多功能化、智能化的传感器。温度、湿度、氧气传感器广泛应用于智能家居、户外运动、工业矿井等场景,这三种传感器目前多以分立器件的形式出现,对于三种传感器的集成鲜有研究。论文在介绍温、湿、氧分立传感器及其读出电路相关机理的基础上,设计了温湿氧多功能传感器低功耗读出电路,该电路主要包括带隙基准电路、低压差线性稳压器、传感器预处理电路和开关电容放大器四个模块。采用预处理电路将三种
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物联网的发展迫切需要集成化、多功能化、智能化的传感器。温度、湿度、氧气传感器广泛应用于智能家居、户外运动、工业矿井等场景,这三种传感器目前多以分立器件的形式出现,对于三种传感器的集成鲜有研究。论文在介绍温、湿、氧分立传感器及其读出电路相关机理的基础上,设计了温湿氧多功能传感器低功耗读出电路,该电路主要包括带隙基准电路、低压差线性稳压器、传感器预处理电路和开关电容放大器四个模块。采用预处理电路将三种环境信号转化为合适范围的电压值、再分时复用同一开关电容放大器输出最终结果的架构,降低了读出电路的总功耗。基于SMIC 0.13μm工艺进行电路设计和仿真验证。主要研究内容如下:(1)电源管理模块。设计了电流模式的带隙基准电路,温度系数为8.75ppm/℃,静态电流为31.8μA,产生了稳定的温度信号和基准;设计了带缓冲级的LDO电路,PSR为-61.16dB,静态电流为34.77μA,产生了稳定的1.2V电压。(2)传感器预处理电路。设计的温度传感器预处理电路在-40~60℃范围内输出521.4~678.4mV电压;氧气传感器预处理电路在5%~30%浓度范围内的输出为521.23~679.96mV电压。(3)开关电容放大器。环形放大器具有输出摆幅轨到轨、内部功耗与负载无关、性能随工艺微缩提高等优点。所设计的可变偏置伪差分环形放大器,实现了单端输入差分输出,输出摆幅提高到2.4V,环路增益为92dB,静态电流为41.08μA。(4)整体电路仿真。温度传感器输出范围为-937.4~940.7mV,灵敏度为18.79mV/℃,线性度为99.91%,精度为0.09℃;湿度传感器输出范围为-1.081~1.081V,灵敏度为 27.03mV/(%RH),线性度为 99.99%,精度为 0.01%RH;氧气传感器输出范围为-949.5~951.6mV,灵敏度为76.03mV/(v/v%),线性度为99.94%,精度为0.018%。整体电路在20KHz开关频率下正常工作,静态电流为132μA。仿真结果表明所设计的电路实现了预定的功能,达到了设计指标。
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