【摘 要】
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由于具有高的剩余极化强度、较大的热释电系数和介电常数,PT系铁电薄膜如锆钛酸铅Pb(Zrx,Ti1-x)O3(PZT)和钛酸铅PbTiO3(PTO)被广泛用于非易失性铁电存储器、铁电场效应晶体管、热释电红外探测器等器件。本文采用射频磁控溅射和分子束外延两种方法研究PT系铁电薄膜的生长工艺与晶相结构、表面形貌和电学性能的关系,探索并优化在低温低氧条件下生长高质量PT系铁电薄膜的工艺方法。首先,使用射
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由于具有高的剩余极化强度、较大的热释电系数和介电常数,PT系铁电薄膜如锆钛酸铅Pb(Zrx,Ti1-x)O3(PZT)和钛酸铅PbTiO3(PTO)被广泛用于非易失性铁电存储器、铁电场效应晶体管、热释电红外探测器等器件。本文采用射频磁控溅射和分子束外延两种方法研究PT系铁电薄膜的生长工艺与晶相结构、表面形貌和电学性能的关系,探索并优化在低温低氧条件下生长高质量PT系铁电薄膜的工艺方法。首先,使用射频磁控溅射在Pt/Si基片上制备了非晶的PZT薄膜,通过快速热处理研究了退火温度
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