含Cr氮化物硬质膜的退除研究

来源 :沈阳大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:spring2011
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本文使用蒸馏水、螯合剂、氧化剂、缓蚀剂、氢氧化钾或氢氧化钠配制膜层退除液,对高速钢、硬质合金、不锈钢基体上沉积的多弧离子镀(Ti,Al,Zr,Cr)N多组元硬质膜、(Ti,Al,Cr)N四组元硬质膜、(Ti,Cr)N三组元硬质膜进行退除。考查了(Ti,Al,Zr,Cr)N多组元硬质膜、(Ti,Al,Cr)N四组元硬质膜、(Ti,Cr)N三组元硬质膜退除过程中的现象,比较了退除液组元的不同组合、退除液组元的不同浓度、退除液组元的不同添加工艺步骤下的退膜效果,分析了退膜前后样品的表面形貌、成分和粗糙度,并对(Ti,Al,Zr,Cr)N多组元硬质膜、(Ti,Al,Cr)N四组元硬质膜、(Ti,Cr)N三组元硬质膜退除过程的反应机理进行了初步的探讨。针对(Ti,Al,Zr,Cr)N、(Ti,Al,Cr)N硬质膜,在恒温条件下,将氢氧化钾或氢氧化钠和蒸馏水组合配制成膜层退除液,将氢氧化钾或氢氧化钠、螯合剂、蒸馏水组合配制成退除膜层退除液,改变退除液浓度、退除液组元添加步骤对膜层进行退除,通过对退除膜层后的样品表面形貌、成分、粗糙度对比分析表明膜层不能够被退除掉;恒温条件下,将氢氧化钾或氢氧化钠、螯合剂、氧化剂和蒸馏水组合配制成膜层退除液对膜层进行退除,改变退除液浓度、退除液组元添加步骤对膜层进行退除,通过对退除膜层后的样品表面形貌、成分、粗糙度对比分析表明膜层被完全退除;(Ti,Cr)N三组元硬质膜的退除采取2步进行,第1步为前期预处理(退除液浸泡),第2步采用氢氧化钠、螯合剂、缓蚀剂、氧化剂和蒸馏水组合配制成膜层退除液对膜层进行退除,改变退除液浓度、退除液组元添加步骤对膜层进行退除,通过对退除膜层后的样品表面形貌、成分、粗糙度对比分析表明膜层被完全退除。本研究结果表明,单一使用化学的方法,采用蒸馏水、螯合剂、氧化剂、缓蚀剂、氢氧化钾或氢氧化钠组成膜层退除液,通过改变组元组合、组元浓度、组元添加工艺步骤,实现了(Ti,Al,Zr,Cr)N多组元硬质膜、(Ti,Al,Cr)N四组元硬质膜、(Ti,Cr)N三组元硬质膜的完全退除,并且退除膜层后的基体表面无腐蚀痕迹,保持原有的光亮度,可以二次镀覆和使用;通过对退膜前后的样品表面形貌、成分和粗糙度的分析,确定了退除液的最佳组元组合、退除液的最佳组元浓度、退除液的最佳组元添加工艺步骤;对于(Ti,Al,Zr,Cr)N多组元硬质膜、(Ti,Al,Cr)N四组元硬质膜,选取退膜过程中不同时间段的退膜样品进行表面形态观察,发现(Ti,Al,Zr,Cr)N多组元硬质膜、(Ti,Al,Cr)N四组元硬质膜的退除反应是随机的、均匀的扩散反应,直到膜层退除干净;对于(Ti,Cr)N三组元硬质膜选取退膜过程中不同时间段的退膜样品进行表面形态观察,发现(Ti,Cr)N三组元硬质膜的退除是沿着缺陷处以脱落方式退除,并且后退除的膜层是沿着先退除的膜层边缘继续脱落,直到膜层退除干净。
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