压力传感器是应用极为广泛的一种传感器，集成化压阻式压力传感器的研究和开发拓宽了压力传感器的应用领域。目的是研究适用于集成化芯片系统的传感器技术，以获得适用于集成化芯片的低工作电压、低功耗、多功能微传感器结构，为以后集成化芯片系统的研究奠定必要的传感器器件基础。论文首先运用小挠度理论分析了薄板的应力分布情况。并且建立了圆形、方形、矩形等常用膜片的数学解析模型，结合压阻系数就得到了输出的解析表达式。借助这些数学模型可以设计弹性膜结构和确定敏电阻位置和方向。给出了压敏电阻设计的基本原则。介绍了传感器的关键加工技术。讨论了压力传感器加工工艺中的兼容性问题。结果表明，文中所设计的压力传感器的工艺方法是可行的，而且与集成电路工艺也是兼容的。采用有限元分析软件ANSYS对设计的正方形结构进行了仿真验证，得到了表征正方形结果特性的曲线，这些曲线可以直观地反映出正方形结构的应力分布情况和灵敏度特性，得到了较为满意的结果。