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【摘 要】
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近年来,由于金属氧化物半导体薄膜晶体管具有制备温度低、稳定性好、兼容柔性衬底、迁移率高和成本低等优势,其显示出巨大的应用前景并得到了广泛的研究。金属氧化物薄膜一般利用磁控溅射、脉冲激光沉积等真空技术制备,但随着对高性价比和大面积电子产品需求的快速增长,薄膜晶体管需要在低成本下进行器件集成。溶液法因其简单、经济、均匀性好和可在大气下制备等优点成为非常具有竞争力的选择,因此其适合制备大面积柔性电子产品
【出 处】
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西安电子科技大学
【发表日期】
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2021年05期
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