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该文以单晶硅为例,进行了纳米加工量级的计算机仿真.采用与常规连续力学理论有显著不同分子动力学方法,建立了刀具和工件的原子模型,从分子、原子的空间角度来观察纳米（次纳米）加工过程中能量的消耗、应力状态、切削力、切削温度等特征,阐述了微观材料去除和表面形成机理.并通过分子动力学仿真研究了在不同的刀尖圆弧半径和切削深度以及不同的晶向条件下进给分力、切深分力、比能和表面变形的变化.