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该文对大气压下用燃烧火焰法沉积的金刚石薄膜的晶貌、大面积沉积薄膜的方法和金刚石单颗粒的沉积进行研究.
燃烧火焰法沉积金刚石大面积薄膜和单颗粒的研究
【摘 要】
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该文对大气压下用燃烧火焰法沉积的金刚石薄膜的晶貌、大面积沉积薄膜的方法和金刚石单颗粒的沉积进行研究.
【机 构】
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清华大学
【出 处】
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清华大学
【发表日期】
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1997年期
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