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针对目前精密直线压电驱动器存的问题,如结构复杂,不易控制,精度不高等,本文基于压电驱动基本理论和改进的尺蠖运行原理,提出了一种步进式精密直线压电驱动器。本文主要内容如下:(1)介绍了国内外压电驱动器的研究现状、分类特点和发展前景;(2)详细介绍压电陶瓷的基本理论及其性能特点,并为后续驱动器的结构设计及参数仿真奠定基础;(3)基于改进的尺蠖运行原理,提出了一种步进式精密直线压电驱动器结构。结构上引入特有的柔性铰链及柔性箝位片机构,采用一体化的加工方法,使结构简单,提高运行频率;并采用可调节螺栓装置,降