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【摘 要】
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本文在收集大量微位移工作台方面资料的基础上，对国内外的研究现状做了介绍；对常用的微位移系统中机构和驱动器做了阐述和比较；还对微位移系统的评价标准和柔性铰链的应用场合做
【机 构】
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华东交通大学
【出 处】
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华东交通大学
【发表日期】
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2008年期
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