本文首先阐述了研究课题的研究背景和意义,及国内外发展动态.然后从四个方面入手,逐步对课题的各个主要内容进行描述.结合理论和实验对不同介质的表面光极化散射特性和模化技术进行了研究.通过运用矩阵法和递推法,理论计算得到不同介质的极化反射率,从而得到介质的极化反射特性,为以后的目标散射研究提供了理论数据;介绍了光学常数的测量方法和椭偏法;通过椭偏仪测量得到不同介质的光学常数;并对不同介质的测量结果进行分析处理:分析得到了类金刚石薄膜的可见光波段的光学特性,并通过色度坐标模型数值拟合了类金刚石薄膜的折射率;提出通过对紫外波段的分析来检验氧化铪薄膜样品的制备.运用网格法和修正的牛顿迭代法对透明介质的折射率和膜层厚度进行了数值反演,通过与测量数据的比较,说明了两种方法的正确性,同时比较两种方法的不同;在计算粗糙面散射方面,根据介质表面特性,运用微扰法数值计算了硅片和类金刚石薄膜的双站雷达散射截面(LRCS)和双向反射分布函数(BRDF),分析了两种介质的散射特性;本文最后通过以微粗糙度表面为研究对象,通过三参数BRDF模型进行理论建模,对不同的样板进行理论计算,并对理论数据与实验数据的进行分析比较.