【摘 要】
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过渡金属氧化物具备多种优异的物理化学性质,如铁电、铁磁、半导体性等,有可能在下一代柔性电子技术革命中扮演重要角色。而作为柔性电子技术发展的基石,柔性氧化物薄膜在制备方面仍然面临巨大挑战。传统的做法是在刚性衬底上外延目标薄膜然后腐蚀掉牺牲层,但严格的晶格匹配使得衬底和牺牲层的选择极为苛刻,这限制了它的应用。而范德华外延不需要严格的晶格匹配,薄膜在衬底表面通过分子间微弱的范德华力外延生长,这为材料的制
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