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【摘 要】
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该文从MEMS中比较典型的一种器件——微加速度计入手,分析了由于微型化而产生的一些新设计思想,并就几个典型的力学问题进行了探讨.全文主要包括三部分的内容:第一部分,介绍
【机 构】
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中国科学院力学研究所
【出 处】
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中国科学院力学研究所
【发表日期】
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2001年期
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