精密定位平台是精密制造、微电子、光学工程等领域的的核心支撑技术，相关领域的发展对精密定位技术提出了更高的要求。非共振型压电作动器具有定位精度高、响应快、能耗低的特点，适合应用于驱动精密定位平台。　　本文研制了一种基于非共振型压电作动器串联式三自由度精密定位平台，由两个直线平台和一个旋转平台组成，能够实现平面内两个平动自由度和一个转动自由度，兼具大行程与高精度的特点。主要研究内容如下：　　介绍了基于非共振型压电作动器的精密定位平台应用背景和概况，基于非共振型压电作动器的精密定位平台的特点及研究现状。　　介绍了压电叠堆的原理结构，讨论了压电叠堆的特性，并对其进行预紧力标定和输出特性实验研究。　　对一种杠杆放大式压电作动器建立力学模型，经有限元仿真及优化设计，制作了杠杆放大式压电作动器样机，并进行了压电作动器驱动足振幅实验，其纵向位移为22.591μm，横向位移为17.025μm。　　设计了一种压电作动器驱动的精密直线运动平台，总结并提出了双压电作动器对称驱动方式和双压电作动器同向驱动方式，通过实验分析了双压电作动器不同驱动方式下精密定位直线平台的速度特性，其中双压电作动器叠层同向驱动方式具有最好的驱动效果，最大驱动速度可达5.479mm/s。　　设计了非共振型压电作动器直接驱动的大行程精密旋转定位平台，对该精密旋转定位平台进行动力学建模，实验表明该精密旋转定位平台的最大速度为47963.2μrad/s,分辨率约为3μrad，最大负载60g。　　阐述了串联式三自由度精密定位平台的结构和设计原则，设计了串联式三自由度精密定位平台的驱动控制方案，包括基于DDS技术的信号发生模块和线性功率放大模块。