多晶硅因其较高的能量转化效率,以及与单晶硅相比低的生产成本而在光伏太阳能电池产业得到日益广泛的使用。本文对制造光伏太阳能电池用多晶硅锭中的主要硬质夹杂SiC、Si3N4引起的热致应力进行数值分析。首先用晶体生长软件CGsim模拟定向凝固获得铸锭凝固初始温度场及夹杂分布特征。结果表明,两种夹杂主要分布在硅锭上表面下的小区域内,基本处于1685K至1645K温度区间。再基于此用有限元分析软件ANSYS分别分析这两种嵌于硅基体内的夹杂在硅基体内引起的热致应力。夹杂颗粒模型形状设计依据其实际形状特征。由于SiC与硅均为立方结构,SiC夹杂影响可处理为各向同性；对于六方结构的Si3N4夹杂,通过对弹性矩阵的坐标转换考虑了其力学性能的各项异性。结果表明,多晶硅锭由1685K降至室温的过程中,夹杂引起的最大热致应力SiC颗粒约为16MPa,Si3N4颗粒在13-21MPa之间,SiC团簇约为15MPa,多颗粒在18-21MPa之间。基于此,计算出多晶硅锭内最小失稳临界裂纹尺寸在286～676μm之间,小于夹杂体的尺寸,因此在铸锭冷却过程中夹杂引起的裂纹发生可能性较大。本文对C、N杂质引入的可能途径也进行了分析,并给出了降低杂质含量的工艺建议。