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该研究以无机盐(非醇盐)为主体原料,采用溶胶-凝胶(SolGel)及脉冲准分子激光气相沉积(LPD)等技术制备了纯SnO<,2>、CuO-SnO<,2>、ZrO<,2>-SnO<,2>粉料及薄膜.采用差热-失重分析(DTA-TGA)研究了干凝胶粉末及薄膜的热分解,晶化过程.采用X-射线衍射分析(XRD)分析了粉料或薄膜的物相组成及结构变化.采用TEM(透射电镜)分析了粉料或薄膜的物相组成及结构变化.采用TEM(透射电镜)观察对薄膜的表面结构,结晶状况及晶粒的形貌和大小进行了研究和测算.该文研究了SnO<,2>薄膜、CuO-SnO<,2>薄膜、ZrO<,2>-SnO<,2>薄膜的温阻特性.薄膜的气敏性能是研究的目标,作者研究了SnO<,2>、CuO-SnO<,2>、ZrO<,2>-SnO<,2>薄膜的气敏性能.对SnO<,2>薄膜的敏感机理进行定性及定量研究,有助于从理论上为进一步提高元件的气敏性能(稳定性、响应恢复特性)提供依据.该文对纯SnO<,2>薄膜及掺杂ZrO<,2>,CuO的SnO<,2>薄膜的气敏机理进行了深入的讨论.