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氧化铟作为新型的气敏材料,得到广泛的关注,主要因为纯的氧化铟就对很多气体具有敏感性,并且通过掺杂处理还可以进一步改善气敏性能。而目前由于氨气污染的严重性,对其检测已到了不容忽视的地步。所以研发出价格低廉,高性能的氨敏元件十分重要。而氧化铟又是当前氨敏元件制备中较为活跃的金属氧化物材料,对氨气有很好的响应。所以采用氧化铟作为氨敏元件,并采用掺杂的方法来改善气敏性能。采取溶胶-凝胶的方法合成胶体,将其旋涂于衬底上,退火烧结成膜。通过表征确定其合适的实验条件,实验发现氧化铟薄膜在pH=5,退火温度为550