【摘 要】
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该文系统地研究了采用金属有机物热分解法制备PZI薄膜的工艺,及该薄膜的相结构和介电性能.从氯氧锆发合成有机锆盐--庚酸氧锆,并和乙酸铅、丁醇钛一起作为溶质,乙二醇乙醚为
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该文系统地研究了采用金属有机物热分解法制备PZI薄膜的工艺,及该薄膜的相结构和介电性能.从氯氧锆发合成有机锆盐--庚酸氧锆,并和乙酸铅、丁醇钛一起作为溶质,乙二醇乙醚为溶剂,合成了锆钛酸铅先体溶液.制得的溶液均匀、稳定、重复性好.采用旋转甩胶的方法,通过多次成膜及退火工艺在Pt/Ti/SiO<,2>/Si基片上制备了具有钙钛矿结构的PZI薄膜.薄膜中的离子松弛极化以及漏电流对其介电常数ε和介质损耗tgδ有很大影响.PZI薄膜的技术性能如下:具有钙钛矿相的微观结构;薄膜厚度:d=0.6ˉ1.0μm;绝缘电阻率 :p>1TΩ·cm;介电常数:ε>220(1kHz);损耗角正切:tgδ≈0.06(1kHz,0.5V).
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