用于玻璃基纳米孔成形的进给系统驱动控制研究

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本课题受国家自然科学基金(51175250)和国家重点基础研究发展计划项目(973计划)“基于玻璃毛细管的5纳米以下的三维纳通道的制造”(2011CB707602)资助。本文研究目的是为DNA序列的研究(973项目)提供实验基础,需要制备玻璃毛细管5纳米以下的三维纳通道。为了搭建纳尺度玻璃管的拉伸驱动控制系统,本文选用了伺服电机精密运动平台和直线型超声电机的串联机构,研究了伺服电机和直线型超声电机级联驱动平台的速度控制和精密定位方法。本文使用DSP为主控制器,DSP主控器控制直线型超
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