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掺铝氧化锌(AZO)具有低温生长条件、原料丰富、成本低廉、不含有毒元素和环境稳定性高等优点,成为当前透明导电薄膜领域的研究热点之一。引入缓冲层是改善AZO薄膜光学和电学性能的有效方法之一。非晶合金薄膜(metal glasses thin film,MGTF)由于其短程有序长程无序和无晶界的结构特点,表现出独特的光电特性,近年来引起了研究人员的关注。本文采用脉冲激光沉积法制备了AZO/Zr Cu基非晶薄膜多层结构复合薄膜,研究了Zr Cu基非晶薄膜缓冲层对复合薄膜光电性能的影响。采用X射线衍射仪(X