论文部分内容阅读
旋转对称非球面光学元件,有校正像差、改善像质、优化光路结构的优点,已被广泛应用到各种光学系统中,但其较高的面形自由度,给检测带来较大困难。利用轴上扫描的光干涉法测量非球面,干涉仪出射不同曲率半径的标准球面波与非球面相切,在切点附近产生条纹密度稀疏的环形干涉条纹。本文在此基础上对非球面进行孔径划分,通过相位连接技术连接各子孔径顶点和零位位置,在物面坐标系重建非球面三维形貌。主要研究内容有:针对非球面的设计公式,对非球面进行特征属性分析,研究利用轴向扫描的光干涉法测量非球面的各种影响因素,并据此规划非球