本文采用直流和射频磁控共溅射的方法，通过改变靶材功率、基材偏压和沉积温度在Si(100)上沉积了一系列的Cr-B-C薄膜。研究了制备参数对薄膜物相结构、微观形貌及机械性能的影响，从而优化Cr-B-C薄膜的制备参数。探讨了制备参数和摩擦参数（载荷和滑动速率）对水润滑条件下Cr-B-C薄膜往复摩擦学行为的影响规律。此外，对比了Cr-B-C薄膜在去离子水、模拟人体体液和海水中的电化学及摩擦学特性，并分析了三种润滑液对Cr-B-C薄膜摩擦磨损行为的影响规律：(1)随着射频功率的增加，Cr-B-C薄膜的硬度持续提高,而膜基结合力则先增加后减小；随着偏压的增大，硬度和膜基结合力均呈现先增大后减小的趋势；随着温度的提高，薄膜硬度和膜基结合力呈相反的变化趋势。综合微观结构和机械性能确定Cr-B-C薄膜最优制备参数：射频功率200W、偏压-150V、沉积温度200℃，且在此参数下获得了最低的摩擦系数为0.323±0.02。(2)最优参数下制备的Cr-B-C薄膜与Si3N4对磨时，摩擦系数随载荷和滑动速率的增加均呈现先增大后减小的趋势。结合薄膜的磨损率发现，对摩副在载荷为50g、往复滑动速率为6cm/s工况下表现出最优的水润滑摩擦学特性（摩擦系数在0.32左右）。(3)最优参数制备的Cr-B-C薄膜均可以提高Si基材在三种溶液中的抗腐蚀性，且对去离子水具有最强的抗腐蚀性（极化阻抗Rp=29596k·cm2，电荷转移电阻Rct=8.131×107·cm2），而对模拟人体体液和海水的抗腐蚀性有待提高。Cr-B-C/Si3N4在三种润滑液中的摩擦系数为0.290~0.406，远低于干摩擦条件下的0.729，但由于模拟人体体液和海水的腐蚀作用，导致薄膜的磨损较为严重。