【摘 要】
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随着微纳加工制造技术的进步,微电子机械系统(MEMS)的设计与制造逐渐向纳米尺度发展,因此对构成MEMS的微型结构和微型器件的性能与可靠性提出了更高的要求。在众多的微型结构和微型器件(如微齿轮、微传感器和微流控芯片等)制造中,采用薄膜和衬底的多层结构制作微纳结构与器件是一个重要研究方向,因此这类结构或器件的性能与可靠性依赖于薄膜和衬底两者的物理和化学性质。而柔性衬底上刚性薄膜结构的力学不稳定性通常
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随着微纳加工制造技术的进步,微电子机械系统(MEMS)的设计与制造逐渐向纳米尺度发展,因此对构成MEMS的微型结构和微型器件的性能与可靠性提出了更高的要求。在众多的微型结构和微型器件(如微齿轮、微传感器和微流控芯片等)制造中,采用薄膜和衬底的多层结构制作微纳结构与器件是一个重要研究方向,因此这类结构或器件的性能与可靠性依赖于薄膜和衬底两者的物理和化学性质。而柔性衬底上刚性薄膜结构的力学不稳定性通常会引起微观起皱现象,对于那些自发形成的无规律不可控的褶皱模式,往往会导致微纳结构或者器件的功能失效,而对
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