【摘 要】
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铁电薄膜材料在微电子、光电子和集成光学等领域的广泛应用前景使之成为高新技术研究的前沿和热点之一.该论文采用射频溅射技术成功地制备出尺寸可控的BaTiO薄膜,应用多种实
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铁电薄膜材料在微电子、光电子和集成光学等领域的广泛应用前景使之成为高新技术研究的前沿和热点之一.该论文采用射频溅射技术成功地制备出尺寸可控的BaTiO<,3>薄膜,应用多种实验手段对薄膜的成分、结构、喇曼散射、光学性质、介电信电导性质进行了较为系统的研究;此外采用射频共溅射技术制备出纳米Ag颗粒镶嵌在BaTiO<,3>介质中的复合薄膜,研究了Ag-BaTiO<,3>复合薄膜的微结构、光吸收和喇曼散射特性.有关研究内容和重要结果摘要如下:1.铁电BaTiO<,3>薄膜的制备及其微结构分析;2.BaTiO<,3>薄膜喇曼散射特征;3.BaTiO<,3>薄膜光学性质;4.BaTiO<,3>薄膜介电及电导行为研究;5.纳米Ag-BaTiO<,3>复合薄膜的光吸收特征;6.纳米Ag-BaTiO<,3>复合薄膜表面增强喇曼散射.
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