超精加工在现代制造技术领域具有重要地位。本文研制了一种基于双偏心调幅原理的单油石单工位二步法机械式超精加工装置。该装置具有可连续调节振动频率、振幅及油石压力的功能与特点，以支持对超精加工过程的机理与工艺特征的研究和实验；同时，由于两个振子在轴上对置，易于实现质量平衡，以赋予超精研油石进行连续、平稳的简谐振动，而保证超精加工的质量。采用该装置进行的加工试验表明：根据不同材料以及不同的质量要求，通过调整油石压力、振动频率和振幅，即优化加工工艺参数，可以有效地提高超精加工效率和质量。 论文阐述了超精加工技术在机械制造中的重要意义，介绍了国内外超精加工工艺研究以及超精加工装置研制方面的情况，分析并总结了当前超精加工技术研究的发展趋势。 论文介绍了超精加工装置的总体设计方案，详细地阐述了超精加工装置的基本组成、双偏心调幅原理。并着重介绍了双偏心调幅机构的结构与研制情况，在对装置振荡系统的运动进行分析的基础上，形成了本装置的理论构架和设计依据。此外，本文还扼要介绍了零部件加上及装置装配与调试过程中涉及的一些要求，由此说明了设计面向加工和装配的重要性。 论文给出了利用本课题研制的超精加工装置进行的超精加工试验结果，通过对试验结果的整理分析，结果表明，合理的工艺参数，对改善加工质量的重要性，并给出了一些不锈钢等材料的超精加工工艺参数，以提高超精加工质量、加工效率和降低油石的损耗度。