超深亚微米集成电路互连线串扰估计及优化

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该论文工作分以下几个部分:1)同时考虑互连线间耦合电容和耦合电感的作用,采有更为精确的RLC模型而不是粗略的RC模型对互连线进行等效和电路模拟,从而实现对串扰噪声更为精确的估计;2)通过对互连线串扰噪声估计结果的分析,得出串扰噪声可以近似为单独考虑耦合电容及单独考虑耦合电感作用两种情况耦合噪声的线性叠加以及电感耦合噪声与电感耦合系数成近似线性正比关系两点结论,并作了数学上的推导和证明;3)提出一种简单的电感耦合模型K<,eff>模型对同层平面互连线结构中互连线间的电感耦合系数进行计算;4)基于前面串扰系数的定义,K<,eff>模型对电感耦合系数的计算,提出几种算法对布线结果进行调整,达到电容耦合噪声和电感耦合噪声的同时优化.
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