【摘 要】
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该论文主要研究一种硅谐振梁式压力微传感器中热源对谐振频率的影响问题.采用的梁-膜式敏感结构为:方形硅膜片作为一次敏感元件,直接感受被测压力.在膜片的上表面制作浅槽和
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该论文主要研究一种硅谐振梁式压力微传感器中热源对谐振频率的影响问题.采用的梁-膜式敏感结构为:方形硅膜片作为一次敏感元件,直接感受被测压力.在膜片的上表面制作浅槽和硅染,以硅梁作为二次敏感元件,间接感受被测压力.为提高振子的品质因数Q值,减少外界干扰,用真空腔对硅梁进行密封.针对硅谐振压力微传感器的敏感结构,讨论了敏感结构热激励激振的机理.结合解析法和有限元方法,该论文分析研究了这种硅微结构敏感元件的激励电阻和拾振电阻所造成的初始热应力对谐振频率的影响.在有限单元方法分析中,运用有限元工具,根据给定的边界条件,解出复杂模型的有限元数值解.另外,用有限元法研究了热激励电阻在谐振梁上产生激振的机理.针对温度变化对热传导系数的影响,对敏感结构热效应的有限元分析进行了修正计算.给出更为精确的数值解.
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