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来源 :山东科技大学 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
纳米压印技术是常用的一种微纳米结构制造技术,因其具有低成本、高分辨率、操作简单等优点而被看作是最具有工业化应用前景的微纳米结构制造方法之一。随着纳米压印技术应用
【作 者】
:
马立俊
【机 构】
:
山东科技大学
【出 处】
:
山东科技大学
【发表日期】
:
2017年期
【关键词】
:
热压印
数值模拟
空腔填充
脱模力
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