【摘 要】
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半导体器件计算机模拟在微电子学的建立和发展中发挥了极其重要的作用,它是以建立能精确地描述各种各样结构的半导体器件工作特性的物理方程组为基础,通过求解这些方程作为研究
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半导体器件计算机模拟在微电子学的建立和发展中发挥了极其重要的作用,它是以建立能精确地描述各种各样结构的半导体器件工作特性的物理方程组为基础,通过求解这些方程作为研究半导体器件特性、优化器件设计、提高器件性能的重要手段,其主要的工作就是求解描述器件特性的一组强耦合、强非线性的微分方程组,迄今为止主要是数值方法。 本文将Adomian提出的分解理论运用于半导体器件模拟中,深入地研究了将Adomian分解理论应用于半导体器件方程求解的关键技术问题和实现方法,详细地分析了半导体器件方程组变量的分解算法,线性算子的选取和与非线性函数等价的Adomian多项式的获取方法。并将其运用于光导开关瞬态特性的模拟中,用Adomian分解法求解了描述光导开关瞬态特性的载流子方程、开关缝隙电荷随时间变化的关系方程,并获得了这些方程的近似解析解,整个求解过程不需要进行任何线性化、离散化和近似处理,获得的解具有概念清晰、使用方便、收敛速度快等一系列优点。
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